Chùa Tây Phương - hay còn được gọi là Sùng Phúc Tự  - được xây dựng vào khoảng thế kỷ thứ 7 và đã trải qua nhiều lần tu bổ qua từng thời kì. Chùa nằm ở trên đỉnh núi nên du khách sẽ phải đi 240 bước mới lên được tới chùa. Tuy nhiên, cảnh quan xung quanh rất đẹp và yên bình với những cây cổ thụ tồn tại hàng thế kỷ

Điểm đặc biệt về chùa Tây Phương là cấu trúc bằng gỗ và ngói. Được làm từ gỗ mít sơn mài, chùa là một tác phẩm nghệ thuật bằng gỗ, với chân dung của các nhà sư được điêu khắc trên gỗ vào những năm 1800. Mái nhà cong cong và được điểm xuyết, trang trí với những con rồng. Gạch xây dựng được làm thủ công tại làng Bát Tràng và được đảm bảo chất lượng tốt, không dễ bị trầy xước. Các cửa sổ tròn là những biểu tượng về Đức Phật, và các cột gỗ, bàn thờ và tượng được đặt trên những phiến đá được chạm khắc hình hoa sen.

Chùa cũng là nơi lưu trữ của một số bức tượng bằng gỗ cổ và có giá trị. Bên cạnh 16 bức tượng La Hán, chùa Tây Phương là ngôi nhà của 62 bức tượng Phật khác. Mỗi bức tượng đều được sơn mài và thể hiện những nhân vật khác nhau với đa dạng biểu cảm.

Vì những lý do trên, chùa Thầy Phương là một kho báu quốc gia, cần được gìn giữ và bảo tồn.